쿼츠 블로그를 위해 대공사

2026-04-08 13:07:41 +09:00
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+AMHS (Automated Material Handling Systems: 자동화 물류 반송 시스템)
+Clean WAY를 통해서 FOUP을 천정반송 하는 OHT  (천장에 매달려있는 레일형태의 물류설비)
+FOUP을 보관하는 역활을 하는 ==STB==, AZFS와 STOCKER  
+FOUP을 층간반송하는  ZIP TOWER로 구성되어 있습니다.
+(ZIP TOWER는 하이닉스에서 쓰는 단어, 일반적으론 리프터라고 한다고 함.)
+
+ **반송 장비** 라는 말도 AMHS 장비를 의미하는 것 같음.
+- FAB내에 자재들을 반송 / 운송하는 장비
+- 사람에 의한 반송이 아닌 자동화 장비들에 의한 반송
+
+반송장비에 해당되는 설비들
+- [[Stocker]]
+- [[OHT]] (Overhead Hoist Transport)
+- [[OHS]] (Overhead Shuttle)
+- [[Lifter]]
+- Conveyor
+- AGV (Automated Guided Vehicles)
+- RGV (Rail Guided Vehicles)
+
@@ -0,0 +1,6 @@
+alternate(대체) [[Storage]](저장소)
+
+- 반송 명령 수행 중  반송 완료가 불가능할 경우 대체 저장소로 저장되어 대기함.
+- 반송 명령의 최종 목적지를 기준으로 등록 가능
+     ( 최종 목적지 직전 저장소에서 갈 수 있는 곳이어야 함 )
+- 복수개의 Alternate Storage 등록 가능 ( Priority 설정하여 순서 정하기가 가능함 )
@@ -0,0 +1,15 @@
+Bridge Group을 클릭하면 [[Transport Machine]] Management가 뜬다.
+이는 Bridge가 [[Transport Machine]] 이라는 개념에 포함되는 개념이라서 그렇다.
+
+Bridge = Convayer = [[InterRail]] Machine 이며
+이들은 대개 별도의 통신을 하지 않는다. (하는 경우가 아에 없는건 아니라고 함)
+
+컨베이어벨트를 생각해보자.
+컨베이어벨트는 작동, 정지 두가지만 잘 되면 된다.
+그래서 SECS 통신등의 통신수단으로 연결하지 않는다.
+( 상태보고 같은걸 할 필요가 없으니까 )
+
+이 설비들은 Ports가 없다.
+( 컨베이어위에 물건을 올리거나 회수하기만 하면 되니까 port라는게 따로 있을 필요가 없다 )
+![[Pasted image 20231215161230.png]]
+
@@ -0,0 +1,5 @@
+크레인, 포크레인팔처럼 로봇팔같은걸 의미한단다..
+
+보통 [[Stocker]] 내부에 있으며 
+- LP(Load Port)에 있는 물류를 내부의 Shelf로 옮기거나
+- Shelf에 있는 물류를 OP(Out Port)로  옮겨주는 역할을 한다.
@@ -0,0 +1,18 @@
+| Service | 기 능 |  |
+| ---- | ---- | ---- |
+| Route Service | § 모든 반송 경로 탐색 (available + unavailable + banned)<br>§ 최적 반송 경로 탐색 |  |
+|  |  |  |
+| Transfer Service | § 반송 가능한 목적지 결정<br>§ 반송 명령 Queue 및 반송 상태 관리 |  |
+|  |  |  |
+| Resource Service | § Machine (Storage, Rail, InterStorage, InterRail, Process) 상태 관리<br>§ Unit (Port, Vehicle, Crane, Shelf) 상태 관리 |  |
+|  |  |  |
+| Material Service | § Carrier 상태 관리<br>§ Carrier 위치 관리 및 탐색 기능 제공 |  |
+|  |  |  |
+| History Service | § Carrier 별 반송 명령 및 단윈 반송 History 관리<br>§ 장비 별 In / Out History 관리 |  |
+|  |  |  |
+| Reconcile Service | § Reconcile for Transfer/Carrier<br>§ Reconcile for ActiveZone (only for STKSEM)<br>§ Reconcile for Vehicle (only for IBSEM) |  |
+|  |  |  |
+| Alarm Service | § Alarm Set/Cleared 처리<br>§ AlarmReport Set/Cleared 처리 |  |
+|  |  |  |
+| Interface Service | § MES 에 대한 다양한 메시지 SET  제공 (Object, String, xml)<br>§ 다양한 ESB 지원<br>§ AMHS 장비 Interface (STOCKER-SEM, IB-SEM 지원) |  |
+|  |  |  |
@@ -0,0 +1,32 @@
+### Green MCS
+- 반도체 FPD 공장에 최적화된 자동 반송 시스템 (MCS를 구현한 aim 제품)
+- 각 설비의 상태와 반송을 담당하는 Framework
+
+### GreenMCS 특징
+- MES로 부터 받은 반송 명령에 대한 Route 설정 및 반송 장비 관리
+  ( MES와 연동되는 기능 자체도 GreenMCS의 특징인가보다 )
+- FAB내 상황 변화에 효과적 대처, 효율적인 Dynamic Routing 설정
+- [[AMHS]] 장비 및 Carrier에 대한 실시간 모니터링
+  ( AMHS장비란 OHT,  STB, AZFS, Stocker 등의 물류설비들을 모두 통칭함 )
+- 최적의 반송 경로 탐색 알고리즘
+- Host & AMHS 인터페이스 제공
+
+![[Pasted image 20231205131420.png]]
+
+- **T**rans **S**erver (TS)
+  ( 자재, 반송, 경로 등 모든 물류 자재의 반송 관련 기능 수행 )
+- **E**quipment **I**nterface **S**erver (EI, ES)
+  ( AMHS Interface, SECS Message <-> XML Doc 맵핑 및 파싱, 전송 )
+  **C**ontrol **S**erver (CS)
+  ( MCS App들에 Heartbeat 체크, Service & Workflow reload, App Control, AMHS Control )
+- **D**aemon **S**erver (DS)
+  ( async 하게 작동해야 하는 동작들을 수행함. awake alternated transport job, garbage data delete, log backup 등 )
+
+- MES Interface
+- Database
+- UI (Client)
+
+![[Pasted image 20231205132711.png]]
+![[Pasted image 20231205133918.png]]
+![[Pasted image 20231205133940.png]]
+![[Pasted image 20231205133951.png]]
@@ -0,0 +1,5 @@
+[[InterStorage]], InterRail 처럼 종류에 Inter가 들어가는 설비들의 경우
+'SECS 통신을 별도로 할 필요가 없고 [[AMHS]]설비간의 물류 반송을 지원하는 설비' 라고 요약할 수 있음.
+
+대표적인 InterRail 설비로는 Convayer가 있으며,
+물류가 어디서 어디로 가는지 그런거 전혀 알 필요 없이 그저 컨베이어 벨트를 돌리기만 하면 되는 설비를 통칭한다고 생각하면 됨.
@@ -0,0 +1,12 @@
+InterStorage, [[InterRail]] 처럼 종류에 Inter가 들어가는 설비들의 경우
+'SECS 통신을 별도로 할 필요가 없고 [[AMHS]]설비간의 물류 반송을 지원하는 설비' 라고 요약할 수 있음.
+
+InterStorage설비는 스스로 별도의 통신을 하지 않고 단순반복 작업을 진행하며 별도의 Shelf 저장공간을 가지지 않는 설비를 의미함.
+
+다만, Interstorage설비의 대표격인 Lifter의 경우 Interstorage설비로 구분을 하긴 하지만
+엄밀히 말하자면 Lifter가 SECS통신을 하지 않는 것은 아니기 때문에 잘못된 구분처럼 보여진다고 함.
+( 아마 층간반송을 통해 Storage와 Storage사이에서 물류를 반송해주는 특성 때문에 
+Interstorage로 구분한 것 같음 )
+
+구분을 잘못해서 그런 것인진 몰라도
+Interstorage라는 용어 자체를 잘 쓰지 않는 추세라고 함.
@@ -0,0 +1,5 @@
+[[AMHS]]설비의 한 종류이며
+수평적인 물류 반송이 아닌 수직적인 물류반송을 담당하는 반송설비이다.
+
+엘리베이터? 같은 느낌이라고 하며
+층간반송을 담당하는 반송설비이다.
@@ -0,0 +1,23 @@
+**M**aterial **C**ontrol **S**ystem
+- 물류 제어(반송[^물건 따위를 운반하여 보냄.] ) 시스템
+
+Trans Server (TS)의 역할을 보면 아래 두가지가 있고
+- MES로 부터 요청 받은 XML Message에 관한 반송 생성 및 반송 로직 수행
+- 반송 명령과 Carrier에 관한 모든 이벤트는 MES로 보고
+
+nanoTrans (Green MCS)의 특징에 보면 이런내용이 있는걸로 봐서
+- MES로 부터 받은 반송 명령에 대한 Route 설정 및 반송 장비 관리
+- 최적의 반송 경로 탐색 알고리즘
+
+MCS의 가장 중요한 기능중 하나로
+#### MES가 알려준 물류의 최종 목적지로 실질적으로 반송을 한다.
+가 될 수 있겠다.
+
+목적지로 물류를 반송하기 위해서는 목적지까지의 경로를 알아야 하고
+경로내에 있는 AMHS설비들에게 명령을 내릴 수 있어야 한다.
+그래서 두번째 MCS의 기능으로
+#### AMHS설비들에 실질적인 명령을 내릴 수 있어야 한다.
+가 있겠다.
+
+이 두가지 주요 업무를 수행하기 위해서 AMHS 장비 관리 및 인터페이스가 가능해야하고
+기준정보 관리 및 상태정보 관리를 위해 DB가 필요하다.
@@ -0,0 +1,36 @@
+※ nanoTrans 및 Green MCS 기준이 아님
+
+![[MCS Architecture.png]]
+-> 대략 이런 느낌의 것을 구현해내면 MCS System을 구현했다고 할 수 있지 않을까 싶음.
+이걸 구현해낸 aim사 제품이 nanoTrans (greenMCS) 인거고..
+**( 이 기능이 MCS의 전부는 절대 아니고 일부분일 것임. )**
+
+nanoTrans Functionality 문서를 보면 16가지의 기능이 정의되어 있는데
+- Dynamic Route -> 물류 반송 중간중간마다 동적으로 최적경로를 재탐색 하겠다. (**물류 반송**)
+- Fixed Route -> 사용자가 정의한 고정된 경로로만 반송하겠다. (**물류 반송**)
+- Load Balancing -> AMHS설비에 과부하 걸리지 않게 밸런싱 하겠다. (**물류 반송**)
+- Alternate Storage -> 반송명령 수행불가 시 어떻게 처리할것인가? (**물류 반송**, 예외 처리)
+- Recovery desination -> Idle Carrier의 반송 경로 Block 방지기능 (**물류 반송**)
+- Fore Transfer -> 반송명령 수행 불가 시 예외처리 (**물류 반송**, 예외 처리)
+- Carrier Process Type -> Carrier에 따라 반송 (불)가능한 AMHS 설비를 설정하겠다. **물류 반송**)
+- Bi-Directional Node -> InOut port 강제 제어, 다양한 장비 Scenario 대응 (**물류 반송**, 예외처리)
+- Transfer Option -> 반송 옵션, 여러가지 예외상황 대응 가능 (**물류 반송**, 예외처리)
+- Change Destination -> 진행중인 반송명령의 최종 목적지 변경 (**물류 반송**, 예외처리)
+- Predictive Transfer  -> 반송시간 단축을 위한 옵셔널 기능 (**물류 반송**)
+- Alarm Management -> 알람 발생 및 알람 확인 기능
+- Storage Full-rate Management -> Storage 장비의 Carrier 저장량 조절 기능
+- Log Analyzing -> TransServer의 Log를 저장
+- Rich History -> MCS 명령 수행 이력 관리
+- High Performance -> 뭔지 잘 모르겠음
+
+16가지 중 11가지가 물류 반송에 관련된 기능임.
+물류 반송 기능이 MCS의 핵심 기능이라고 봐도 되는 것 같고
+물류 반송 기능을 제공하기 위한 서브기능들 몇가지가 추가된 상태로 분석된다.
+
+즉, 위에 그려놓은 반송 관련 기능이 MCS의 거의 전부라고 봐도 될 듯하다.
+약어도 보면 Material Control System, 물류 제어 시스템이다.
+
+자동으로 최적의 경로를 구해서 효율적인 Load Balancing을 하면서
+어지간한 예외상황에 대해서도 대처가 가능한 물류 반송 자동화 시스템
+( 물론 사용자를 위한 추가기능도 추가해놓은 )
+이라고 하면 되겠다.
@@ -0,0 +1,14 @@
+![[2023-11-15 MCS 교육 필기]]
+
+![[Pasted image 20231215134055.png]] TM18 (Factory)
+	└ ![[Pasted image 20231215134110.png]] ARRAY (Area)
+			└ ![[Pasted image 20231215134125.png]] Array2f (Shop)         (Shop과 이름이 Array2f로 같은거임.)
+					└ ![[Pasted image 20231215134135.png]] Array2f (Bay)
+							├ ![[Pasted image 20231215134204.png]] BRIDGE (보통 Convayer를 의미한다함.) 
+							├ ![[Pasted image 20231215134208.png]] OHS
+							├ ![[Pasted image 20231215134218.png]] PROCESS
+							└ ![[Pasted image 20231215134228.png]] STOCKER
+
+Level 구분은 Factory -> Area -> Shop -> Bay 까지 있고
+그 아래에 있는 BRIDGE, OHS, PROCESS, STOCKER는 각 설비들을
+타입별로 grouping 해 놓은 것이라고 생각하면 된다.
@@ -0,0 +1,11 @@
+OverHead Shuttle[[24.01.04#^shuttle]]
+
+Overhead       Shuttle
+머리위에서    특정지점을 빠르게 오고가는 시스템
+
+Rail을 따라서 물류를 반송하는 반송설비.
+
+물류를 Rail위에 올리고 반송하기 때문에 무거운 물류 운송에 [[OHT]]보다 유리하다.
+
+[[Transport Machine]]이자 [[Rail Machine]]에 포함된다.
+
@@ -0,0 +1,11 @@
+Overhead Hoist Transport
+
+Overhead        Hoist                          Transport
+머리위에서     들어(끌어)올리는       반송
+
+머리위에 있으며 인형뽑기 집게같은걸로 들어올리거나 내려주는 식으로
+물류를 반송하는 반송설비.
+
+물류가 집게에 잡혀서 매달려있는 형태여서 매우 무거운 물류는 옮기기 힘들다.
+
+[[Transport Machine]]이자 [[Rail Machine]]에 포함된다.
@@ -0,0 +1,9 @@
+일반적인 MCS에서 사용되는 용어는 아니라고 함.
+
+TM18에서만 사용하는 특별한 설비종류일수도 있고,
+
+아무튼 뭔지 모르겠다는 답변을 받음.
+(Storage로 분류되어 있는걸로 봐선 Stocker Machine의 일종이지 않을까?)
+
+이름을 잘못지은 것 같다. 
+O(ver)H(ead) 어쩌구저쩌구는 뭔가 RailMachine의 일종처럼 들리니까..
@@ -0,0 +1,10 @@
+MCS에서 Process는 ==생산설비== (AMHS 설비를 제외한, 실제 가동되면서 product를 생산하는)를 의미
+product는 반드시 완제품이 아니고 여러가지 형태일 수 있다.
+
+MCS에서 Process는 Equipment라고 보면 되나보다.. 
+(Machine 기준정보에 Process - Equipment 라고 되어있음.)
+
+설비가 process를 완료하기전과 완료후가 외형상 변화가 없는 경우도 있고
+( 계측설비 같은것들 )
+그냥 씻기만 하고 내보내는 경우도 있다. ( WET 설비 같은것들 )
+process 완료 전,후가 엄청 큰 차이를 보이는 경우도 당연히 있고..
@@ -0,0 +1,7 @@
+OHS를 누르면 Rail Machine Management 메뉴가 열림.
+
+OHS, OHT는 Transport Machine에 포함되긴 하지만
+Rail Machine이 조금 더 좁은 범위의 분류이기 떄문에
+Transport Machine Management대신 Rail Machine Management가 열리는 것 같다.
+
+Rail (선로)이 있고 이 Rail을 통해 물류를 반송하는 설비들을 Rail Machine이라 하는 것 같다.
@@ -0,0 +1,15 @@
+Side Track Buffer
+
+하이닉스에서만 사용하는 반송설비의 종류
+
+[[Stocker]] (STK) 와 비슷하게 동작하는 Storage Machine의 일종이고
+STK와 다르게 설비 내부에 Crane이 없고 OHT가 직접 반송을 해줌.
+
+OHT 반송 설비의 레일(트랙) 옆에 위치하는..
+느낌은 Shelf인데(저장소인데),
+Foup에 질소를 충전하는 곳? 으로 사용되는 것 같습니다.
+
+찾아보니, UTB (Under Track Buffer) 라는 용어도 있습니다
+
+트랙 옆에 저장(보관)하면 Side    STB
+트랙 아래에 저장(보관하면 Under)   UTB ??
@@ -0,0 +1,8 @@
+( Shelf(선반), Zone ) -> 사실 Shelf랑 [[Zone]]이라고 괄호쳐놓은 이유를 잘 모르겠음
+
+- Stocker 자체 저장 공간 (선반), Carrier를 보관하는 장소
+  -> 이건 아마 Shelf 라는 단어의 의미인 것 같음.
+- Crane에 의해 Carrier를 이동, 저장
+
+==Carrier를 저장해놓거나 Carrier를 필요로하는 생산 설비나 다른 AMHS 설비들에게 넘겨주는 역할을 함==
+-> Stocker에는 1개 이상의 Crane이 있고 이 Crane이 Input / Output port들로 Carrier를 옮겨줌.
@@ -0,0 +1,9 @@
+storage, 저장 공간
+
+Storage = [[Stocker]] / STB(ZFS, INVENTORY, UTS, AZFS)
+내부에 foup을 저장할 수 있는 설비들을 통칭하는 듯 함.
+
+ZFS, INVENTORY, UTS와 AZFS는 [[STB]]의 한 종류일 가능성이 높음. 
+(STB가 하는 일을 하는건 맞는데 다르게 처리하거나 하는 식)
+아마 STB처럼 OHT에 의해 Foup을 적재하는 식으로 동작하는 녀석들을 말하는 것 같음
+
@@ -0,0 +1,13 @@
+[[Transport Job]]이 택배 송장이라면
+Transport command는 택배의 상세 배송 이력이라고 보면 되겠음.
+
+현재 진행중인 Trnasport command는 당연히 하나만 존재할 수 있는것이고
+지금 현재 이 물류가 지금 당장 어떻게 반송되어야 하는지에 대한 정보를 가짐.
+
+아래 이미지에서 하나하나의 상세 이력.. 저런 느낌인듯
+지금 이 foup이 A1STK0100 의 Shelf에서 OP로 이동해야한다.
+이런 상세내역 자체를 의미.
+
+==Transport command는 Transport Job이 있어야만 존재할 수 있다.==
+
+![[Pasted image 20240131113033.png]]
@@ -0,0 +1,17 @@
+ Carrier에 내려진 반송명령 그 자체를 의미함.
+ 택배의 송장과 비슷하다고 보면 될 듯 합니다.
+
+///////////////////////
+출발지: A1STK0100
+목적지: A1STK2500
+///////////////////////
+
+어디에서 어디로 가야한다. 그 자체를 의미하며
+목적지까지 어떻게 가는지에 대한 상세반송은 [[Transport Command]]를 확인해야 함.
+
+Carrier 하나당 하나의 TransportJob만 존재할 수 있음.
+
+MCS는 Lot 단위까지 물류를 관리하지 않지만
+MES가 알려준 Lot ID에 대해서는 정보를 가지고 있기는 함.
+그래서 Transport Job History 검색할 때 lot ID로도 검색이 가능한 것 같음.
+근데 그럼 Transport Command도 lot ID 단위로 검색 가능해야 한 것 아닌가..?
@@ -0,0 +1,10 @@
+MCS에서 Equipment의 종류를 나누는 대분류중 하나.
+크게 두가지로 분류된다.
+
+Process Machine  ,   Transport Machine
+
+Transport Machine은 반송과 관련된 설비 모두를 의미한다.
+
+Transport Machine
+   ├ [[Rail Machine]] 
+   └ [[Stocker]] Machine ( Storage )
@@ -0,0 +1,4 @@
+Port / Shelf ( = STBPort) / Crane / Vehicle / Shuttle
+
+Equipment, AMHS 설비들에 포함되는 모듈들 중
+따로 관리포인트가 필요한 것들을 통칭하는 용어
@@ -0,0 +1,8 @@
+일종의 Grouping 단위이며 zone에는 여러가지 것들이 포함될 수 있다.
+( Storage Machine이 될 수도, 그 Machine의 특정 Unit이 될 수도 있고 여러개일 수 있다. )
+
+사용자가 특정한 조건으로 묶은 개체들에 대해서 동시에 어떠한 설정을 하고자 할 때 쓴다.
+
+예를들면
+설비의 port 여러개를 하나의 zone단위로 묶고 이 zone을 특정 설비의 Alternate Storage로
+지정할 수 있다.