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2026-04-09 10:02:57 +09:00
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-AMHS (Automated Material Handling Systems: 자동화 물류 반송 시스템)
-Clean WAY를 통해서 FOUP을 천정반송 하는 OHT  (천장에 매달려있는 레일형태의 물류설비)
-FOUP을 보관하는 역활을 하는 ==STB==, AZFS와 STOCKER  
-FOUP을 층간반송하는  ZIP TOWER로 구성되어 있습니다.
-(ZIP TOWER는 하이닉스에서 쓰는 단어, 일반적으론 리프터라고 한다고 함.)
-
- **반송 장비** 라는 말도 AMHS 장비를 의미하는 것 같음.
- FAB내에 자재들을 반송 / 운송하는 장비
- 사람에 의한 반송이 아닌 자동화 장비들에 의한 반송
-
-반송장비에 해당되는 설비들
- [[Stocker]]
- [[OHT]] (Overhead Hoist Transport)
- [[OHS]] (Overhead Shuttle)
- [[Lifter]]
- Conveyor
- AGV (Automated Guided Vehicles)
- RGV (Rail Guided Vehicles)
-
@@ -1,6 +0,0 @@
-alternate(대체) [[Storage]](저장소)
-
- 반송 명령 수행 중  반송 완료가 불가능할 경우 대체 저장소로 저장되어 대기함.
- 반송 명령의 최종 목적지를 기준으로 등록 가능
-     ( 최종 목적지 직전 저장소에서 갈 수 있는 곳이어야 함 )
- 복수개의 Alternate Storage 등록 가능 ( Priority 설정하여 순서 정하기가 가능함 )
@@ -1,15 +0,0 @@
-Bridge Group을 클릭하면 [[Transport Machine]] Management가 뜬다.
-이는 Bridge가 [[Transport Machine]] 이라는 개념에 포함되는 개념이라서 그렇다.
-
-Bridge = Convayer = [[InterRail]] Machine 이며
-이들은 대개 별도의 통신을 하지 않는다. (하는 경우가 아에 없는건 아니라고 함)
-
-컨베이어벨트를 생각해보자.
-컨베이어벨트는 작동, 정지 두가지만 잘 되면 된다.
-그래서 SECS 통신등의 통신수단으로 연결하지 않는다.
-( 상태보고 같은걸 할 필요가 없으니까 )
-
-이 설비들은 Ports가 없다.
-( 컨베이어위에 물건을 올리거나 회수하기만 하면 되니까 port라는게 따로 있을 필요가 없다 )
-![[Pasted image 20231215161230.png]]
-
@@ -1,5 +0,0 @@
-크레인, 포크레인팔처럼 로봇팔같은걸 의미한단다..
-
-보통 [[Stocker]] 내부에 있으며 
- LP(Load Port)에 있는 물류를 내부의 Shelf로 옮기거나
- Shelf에 있는 물류를 OP(Out Port)로  옮겨주는 역할을 한다.
@@ -1,18 +0,0 @@
-| Service | 기 능 |  |
-| ---- | ---- | ---- |
-| Route Service | § 모든 반송 경로 탐색 (available + unavailable + banned)<br>§ 최적 반송 경로 탐색 |  |
-|  |  |  |
-| Transfer Service | § 반송 가능한 목적지 결정<br>§ 반송 명령 Queue 및 반송 상태 관리 |  |
-|  |  |  |
-| Resource Service | § Machine (Storage, Rail, InterStorage, InterRail, Process) 상태 관리<br>§ Unit (Port, Vehicle, Crane, Shelf) 상태 관리 |  |
-|  |  |  |
-| Material Service | § Carrier 상태 관리<br>§ Carrier 위치 관리 및 탐색 기능 제공 |  |
-|  |  |  |
-| History Service | § Carrier 별 반송 명령 및 단윈 반송 History 관리<br>§ 장비 별 In / Out History 관리 |  |
-|  |  |  |
-| Reconcile Service | § Reconcile for Transfer/Carrier<br>§ Reconcile for ActiveZone (only for STKSEM)<br>§ Reconcile for Vehicle (only for IBSEM) |  |
-|  |  |  |
-| Alarm Service | § Alarm Set/Cleared 처리<br>§ AlarmReport Set/Cleared 처리 |  |
-|  |  |  |
-| Interface Service | § MES 에 대한 다양한 메시지 SET  제공 (Object, String, xml)<br>§ 다양한 ESB 지원<br>§ AMHS 장비 Interface (STOCKER-SEM, IB-SEM 지원) |  |
-|  |  |  |
@@ -1,32 +0,0 @@
-### Green MCS
- 반도체 FPD 공장에 최적화된 자동 반송 시스템 (MCS를 구현한 aim 제품)
- 각 설비의 상태와 반송을 담당하는 Framework
-
-### GreenMCS 특징
- MES로 부터 받은 반송 명령에 대한 Route 설정 및 반송 장비 관리
-  ( MES와 연동되는 기능 자체도 GreenMCS의 특징인가보다 )
- FAB내 상황 변화에 효과적 대처, 효율적인 Dynamic Routing 설정
- [[AMHS]] 장비 및 Carrier에 대한 실시간 모니터링
-  ( AMHS장비란 OHT,  STB, AZFS, Stocker 등의 물류설비들을 모두 통칭함 )
- 최적의 반송 경로 탐색 알고리즘
- Host & AMHS 인터페이스 제공
-
-![[Pasted image 20231205131420.png]]
-
- **T**rans **S**erver (TS)
-  ( 자재, 반송, 경로 등 모든 물류 자재의 반송 관련 기능 수행 )
- **E**quipment **I**nterface **S**erver (EI, ES)
-  ( AMHS Interface, SECS Message <-> XML Doc 맵핑 및 파싱, 전송 )
-  **C**ontrol **S**erver (CS)
-  ( MCS App들에 Heartbeat 체크, Service & Workflow reload, App Control, AMHS Control )
- **D**aemon **S**erver (DS)
-  ( async 하게 작동해야 하는 동작들을 수행함. awake alternated transport job, garbage data delete, log backup 등 )
-
- MES Interface
- Database
- UI (Client)
-
-![[Pasted image 20231205132711.png]]
-![[Pasted image 20231205133918.png]]
-![[Pasted image 20231205133940.png]]
-![[Pasted image 20231205133951.png]]
@@ -1,5 +0,0 @@
-[[InterStorage]], InterRail 처럼 종류에 Inter가 들어가는 설비들의 경우
-'SECS 통신을 별도로 할 필요가 없고 [[AMHS]]설비간의 물류 반송을 지원하는 설비' 라고 요약할 수 있음.
-
-대표적인 InterRail 설비로는 Convayer가 있으며,
-물류가 어디서 어디로 가는지 그런거 전혀 알 필요 없이 그저 컨베이어 벨트를 돌리기만 하면 되는 설비를 통칭한다고 생각하면 됨.
@@ -1,12 +0,0 @@
-InterStorage, [[InterRail]] 처럼 종류에 Inter가 들어가는 설비들의 경우
-'SECS 통신을 별도로 할 필요가 없고 [[AMHS]]설비간의 물류 반송을 지원하는 설비' 라고 요약할 수 있음.
-
-InterStorage설비는 스스로 별도의 통신을 하지 않고 단순반복 작업을 진행하며 별도의 Shelf 저장공간을 가지지 않는 설비를 의미함.
-
-다만, Interstorage설비의 대표격인 Lifter의 경우 Interstorage설비로 구분을 하긴 하지만
-엄밀히 말하자면 Lifter가 SECS통신을 하지 않는 것은 아니기 때문에 잘못된 구분처럼 보여진다고 함.
-( 아마 층간반송을 통해 Storage와 Storage사이에서 물류를 반송해주는 특성 때문에 
-Interstorage로 구분한 것 같음 )
-
-구분을 잘못해서 그런 것인진 몰라도
-Interstorage라는 용어 자체를 잘 쓰지 않는 추세라고 함.
@@ -1,5 +0,0 @@
-[[AMHS]]설비의 한 종류이며
-수평적인 물류 반송이 아닌 수직적인 물류반송을 담당하는 반송설비이다.
-
-엘리베이터? 같은 느낌이라고 하며
-층간반송을 담당하는 반송설비이다.
@@ -1,23 +0,0 @@
-**M**aterial **C**ontrol **S**ystem
- 물류 제어(반송[^물건 따위를 운반하여 보냄.] ) 시스템
-
-Trans Server (TS)의 역할을 보면 아래 두가지가 있고
- MES로 부터 요청 받은 XML Message에 관한 반송 생성 및 반송 로직 수행
- 반송 명령과 Carrier에 관한 모든 이벤트는 MES로 보고
-
-nanoTrans (Green MCS)의 특징에 보면 이런내용이 있는걸로 봐서
- MES로 부터 받은 반송 명령에 대한 Route 설정 및 반송 장비 관리
- 최적의 반송 경로 탐색 알고리즘
-
-MCS의 가장 중요한 기능중 하나로
-#### MES가 알려준 물류의 최종 목적지로 실질적으로 반송을 한다.
-가 될 수 있겠다.
-
-목적지로 물류를 반송하기 위해서는 목적지까지의 경로를 알아야 하고
-경로내에 있는 AMHS설비들에게 명령을 내릴 수 있어야 한다.
-그래서 두번째 MCS의 기능으로
-#### AMHS설비들에 실질적인 명령을 내릴 수 있어야 한다.
-가 있겠다.
-
-이 두가지 주요 업무를 수행하기 위해서 AMHS 장비 관리 및 인터페이스가 가능해야하고
-기준정보 관리 및 상태정보 관리를 위해 DB가 필요하다.
@@ -1,36 +0,0 @@
-※ nanoTrans 및 Green MCS 기준이 아님
-
-![[MCS Architecture.png]]
-> 대략 이런 느낌의 것을 구현해내면 MCS System을 구현했다고 할 수 있지 않을까 싶음.
-이걸 구현해낸 aim사 제품이 nanoTrans (greenMCS) 인거고..
-**( 이 기능이 MCS의 전부는 절대 아니고 일부분일 것임. )**
-
-nanoTrans Functionality 문서를 보면 16가지의 기능이 정의되어 있는데
- Dynamic Route -> 물류 반송 중간중간마다 동적으로 최적경로를 재탐색 하겠다. (**물류 반송**)
- Fixed Route -> 사용자가 정의한 고정된 경로로만 반송하겠다. (**물류 반송**)
- Load Balancing -> AMHS설비에 과부하 걸리지 않게 밸런싱 하겠다. (**물류 반송**)
- Alternate Storage -> 반송명령 수행불가 시 어떻게 처리할것인가? (**물류 반송**, 예외 처리)
- Recovery desination -> Idle Carrier의 반송 경로 Block 방지기능 (**물류 반송**)
- Fore Transfer -> 반송명령 수행 불가 시 예외처리 (**물류 반송**, 예외 처리)
- Carrier Process Type -> Carrier에 따라 반송 (불)가능한 AMHS 설비를 설정하겠다. **물류 반송**)
- Bi-Directional Node -> InOut port 강제 제어, 다양한 장비 Scenario 대응 (**물류 반송**, 예외처리)
- Transfer Option -> 반송 옵션, 여러가지 예외상황 대응 가능 (**물류 반송**, 예외처리)
- Change Destination -> 진행중인 반송명령의 최종 목적지 변경 (**물류 반송**, 예외처리)
- Predictive Transfer  -> 반송시간 단축을 위한 옵셔널 기능 (**물류 반송**)
- Alarm Management -> 알람 발생 및 알람 확인 기능
- Storage Full-rate Management -> Storage 장비의 Carrier 저장량 조절 기능
- Log Analyzing -> TransServer의 Log를 저장
- Rich History -> MCS 명령 수행 이력 관리
- High Performance -> 뭔지 잘 모르겠음
-
-16가지 중 11가지가 물류 반송에 관련된 기능임.
-물류 반송 기능이 MCS의 핵심 기능이라고 봐도 되는 것 같고
-물류 반송 기능을 제공하기 위한 서브기능들 몇가지가 추가된 상태로 분석된다.
-
-즉, 위에 그려놓은 반송 관련 기능이 MCS의 거의 전부라고 봐도 될 듯하다.
-약어도 보면 Material Control System, 물류 제어 시스템이다.
-
-자동으로 최적의 경로를 구해서 효율적인 Load Balancing을 하면서
-어지간한 예외상황에 대해서도 대처가 가능한 물류 반송 자동화 시스템
-( 물론 사용자를 위한 추가기능도 추가해놓은 )
-이라고 하면 되겠다.
@@ -1,14 +0,0 @@
-![[2023-11-15 MCS 교육 필기]]
-
-![[Pasted image 20231215134055.png]] TM18 (Factory)
-	└ ![[Pasted image 20231215134110.png]] ARRAY (Area)
-			└ ![[Pasted image 20231215134125.png]] Array2f (Shop)         (Shop과 이름이 Array2f로 같은거임.)
-					└ ![[Pasted image 20231215134135.png]] Array2f (Bay)
-							├ ![[Pasted image 20231215134204.png]] BRIDGE (보통 Convayer를 의미한다함.) 
-							├ ![[Pasted image 20231215134208.png]] OHS
-							├ ![[Pasted image 20231215134218.png]] PROCESS
-							└ ![[Pasted image 20231215134228.png]] STOCKER
-
-Level 구분은 Factory -> Area -> Shop -> Bay 까지 있고
-그 아래에 있는 BRIDGE, OHS, PROCESS, STOCKER는 각 설비들을
-타입별로 grouping 해 놓은 것이라고 생각하면 된다.
@@ -1,11 +0,0 @@
-OverHead Shuttle[[24.01.04#^shuttle]]
-
-Overhead       Shuttle
-머리위에서    특정지점을 빠르게 오고가는 시스템
-
-Rail을 따라서 물류를 반송하는 반송설비.
-
-물류를 Rail위에 올리고 반송하기 때문에 무거운 물류 운송에 [[OHT]]보다 유리하다.
-
-[[Transport Machine]]이자 [[Rail Machine]]에 포함된다.
-
@@ -1,11 +0,0 @@
-Overhead Hoist Transport
-
-Overhead        Hoist                          Transport
-머리위에서     들어(끌어)올리는       반송
-
-머리위에 있으며 인형뽑기 집게같은걸로 들어올리거나 내려주는 식으로
-물류를 반송하는 반송설비.
-
-물류가 집게에 잡혀서 매달려있는 형태여서 매우 무거운 물류는 옮기기 힘들다.
-
-[[Transport Machine]]이자 [[Rail Machine]]에 포함된다.
@@ -1,9 +0,0 @@
-일반적인 MCS에서 사용되는 용어는 아니라고 함.
-
-TM18에서만 사용하는 특별한 설비종류일수도 있고,
-
-아무튼 뭔지 모르겠다는 답변을 받음.
-(Storage로 분류되어 있는걸로 봐선 Stocker Machine의 일종이지 않을까?)
-
-이름을 잘못지은 것 같다. 
-O(ver)H(ead) 어쩌구저쩌구는 뭔가 RailMachine의 일종처럼 들리니까..
@@ -1,10 +0,0 @@
-MCS에서 Process는 ==생산설비== (AMHS 설비를 제외한, 실제 가동되면서 product를 생산하는)를 의미
-product는 반드시 완제품이 아니고 여러가지 형태일 수 있다.
-
-MCS에서 Process는 Equipment라고 보면 되나보다.. 
-(Machine 기준정보에 Process - Equipment 라고 되어있음.)
-
-설비가 process를 완료하기전과 완료후가 외형상 변화가 없는 경우도 있고
-( 계측설비 같은것들 )
-그냥 씻기만 하고 내보내는 경우도 있다. ( WET 설비 같은것들 )
-process 완료 전,후가 엄청 큰 차이를 보이는 경우도 당연히 있고..
@@ -1,7 +0,0 @@
-OHS를 누르면 Rail Machine Management 메뉴가 열림.
-
-OHS, OHT는 Transport Machine에 포함되긴 하지만
-Rail Machine이 조금 더 좁은 범위의 분류이기 떄문에
-Transport Machine Management대신 Rail Machine Management가 열리는 것 같다.
-
-Rail (선로)이 있고 이 Rail을 통해 물류를 반송하는 설비들을 Rail Machine이라 하는 것 같다.
@@ -1,15 +0,0 @@
-Side Track Buffer
-
-하이닉스에서만 사용하는 반송설비의 종류
-
-[[Stocker]] (STK) 와 비슷하게 동작하는 Storage Machine의 일종이고
-STK와 다르게 설비 내부에 Crane이 없고 OHT가 직접 반송을 해줌.
-
-OHT 반송 설비의 레일(트랙) 옆에 위치하는..
-느낌은 Shelf인데(저장소인데),
-Foup에 질소를 충전하는 곳? 으로 사용되는 것 같습니다.
-
-찾아보니, UTB (Under Track Buffer) 라는 용어도 있습니다
-
-트랙 옆에 저장(보관)하면 Side    STB
-트랙 아래에 저장(보관하면 Under)   UTB ??
@@ -1,8 +0,0 @@
-( Shelf(선반), Zone ) -> 사실 Shelf랑 [[Zone]]이라고 괄호쳐놓은 이유를 잘 모르겠음
-
- Stocker 자체 저장 공간 (선반), Carrier를 보관하는 장소
-  -> 이건 아마 Shelf 라는 단어의 의미인 것 같음.
- Crane에 의해 Carrier를 이동, 저장
-
-==Carrier를 저장해놓거나 Carrier를 필요로하는 생산 설비나 다른 AMHS 설비들에게 넘겨주는 역할을 함==
-> Stocker에는 1개 이상의 Crane이 있고 이 Crane이 Input / Output port들로 Carrier를 옮겨줌.
@@ -1,9 +0,0 @@
-storage, 저장 공간
-
-Storage = [[Stocker]] / STB(ZFS, INVENTORY, UTS, AZFS)
-내부에 foup을 저장할 수 있는 설비들을 통칭하는 듯 함.
-
-ZFS, INVENTORY, UTS와 AZFS는 [[STB]]의 한 종류일 가능성이 높음. 
-(STB가 하는 일을 하는건 맞는데 다르게 처리하거나 하는 식)
-아마 STB처럼 OHT에 의해 Foup을 적재하는 식으로 동작하는 녀석들을 말하는 것 같음
-
@@ -1,13 +0,0 @@
-[[Transport Job]]이 택배 송장이라면
-Transport command는 택배의 상세 배송 이력이라고 보면 되겠음.
-
-현재 진행중인 Trnasport command는 당연히 하나만 존재할 수 있는것이고
-지금 현재 이 물류가 지금 당장 어떻게 반송되어야 하는지에 대한 정보를 가짐.
-
-아래 이미지에서 하나하나의 상세 이력.. 저런 느낌인듯
-지금 이 foup이 A1STK0100 의 Shelf에서 OP로 이동해야한다.
-이런 상세내역 자체를 의미.
-
-==Transport command는 Transport Job이 있어야만 존재할 수 있다.==
-
-![[Pasted image 20240131113033.png]]
@@ -1,17 +0,0 @@
- Carrier에 내려진 반송명령 그 자체를 의미함.
- 택배의 송장과 비슷하다고 보면 될 듯 합니다.
-
-///////////////////////
-출발지: A1STK0100
-목적지: A1STK2500
-///////////////////////
-
-어디에서 어디로 가야한다. 그 자체를 의미하며
-목적지까지 어떻게 가는지에 대한 상세반송은 [[Transport Command]]를 확인해야 함.
-
-Carrier 하나당 하나의 TransportJob만 존재할 수 있음.
-
-MCS는 Lot 단위까지 물류를 관리하지 않지만
-MES가 알려준 Lot ID에 대해서는 정보를 가지고 있기는 함.
-그래서 Transport Job History 검색할 때 lot ID로도 검색이 가능한 것 같음.
-근데 그럼 Transport Command도 lot ID 단위로 검색 가능해야 한 것 아닌가..?
@@ -1,10 +0,0 @@
-MCS에서 Equipment의 종류를 나누는 대분류중 하나.
-크게 두가지로 분류된다.
-
-Process Machine  ,   Transport Machine
-
-Transport Machine은 반송과 관련된 설비 모두를 의미한다.
-
-Transport Machine
-   ├ [[Rail Machine]] 
-   └ [[Stocker]] Machine ( Storage )
@@ -1,4 +0,0 @@
-Port / Shelf ( = STBPort) / Crane / Vehicle / Shuttle
-
-Equipment, AMHS 설비들에 포함되는 모듈들 중
-따로 관리포인트가 필요한 것들을 통칭하는 용어
@@ -1,8 +0,0 @@
-일종의 Grouping 단위이며 zone에는 여러가지 것들이 포함될 수 있다.
-( Storage Machine이 될 수도, 그 Machine의 특정 Unit이 될 수도 있고 여러개일 수 있다. )
-
-사용자가 특정한 조건으로 묶은 개체들에 대해서 동시에 어떠한 설정을 하고자 할 때 쓴다.
-
-예를들면
-설비의 port 여러개를 하나의 zone단위로 묶고 이 zone을 특정 설비의 Alternate Storage로
-지정할 수 있다.